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国内首套光刻机生产线成功投产

来源:成都新德南光机械设备有限公司 | 发布时间:2015-03-01

中新江苏网徐州2月2日电(仲欣)目前,由国内某公司研发的国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的双工件台光刻机生产线目前已成功投产,该生产线填补了国内空白。

  据了解,随着集成电路的发展,高端芯片应用领域已延伸至手机、电脑、数控设备等各个行业,其封装技术更是向高密度、更高性能发展,因此能够生产高端芯片的大视场、大焦深、高精度光刻机成为先进封装生产线上的关键设备。长期以来,光刻机的生产技术一直被以色列的奥宝科技、日本的ORC、富士、网屏和日立等五家国际企业垄断,国内光刻设备完全依赖进口。

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