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发布时间:2020-04-14
罗茨真空泵的功能就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使它达到最大要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,到目前为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
为达到最佳配置, 选择真空系统时,应考虑下述几点:
一、 被抽气体种类与抽气量
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,罗茨真空泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
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