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真空炉维修注意事项
真空炉维修注意事项
来源：成都新德南光机械设备有限公司 | 发布时间：2025-10-18 |
真空炉是精密且昂贵的工业设备，其维修工作专业性极强，绝非普通设备可比。
一、 核心注意事项（安全与原则）
彻底断电与隔离：维修前，务必切断主电源、控制电源，并挂上“禁止合闸”警示牌。同时，关闭所有水、气路阀门，对炉体进行充分泄压，防止电击、烫伤或高压流体伤害。
充分冷却与清洁：等待炉体完全冷却至室温。进入炉腔前，必须彻底清洁热区，清除挥发物、金属粉尘和残留物，防止其影响维修判断或引发二次污染、短路。
佩戴专业防护装备：操作人员需穿戴洁净手套（防止汗渍污染保温层和发热体）、护目镜及防尘口罩。处理隔热材料时，纤维易漂浮，需加强呼吸防护。
规范使用真空规管：电离规管必须在高真空状态下（通常低于10Pa）才能开启，否则会瞬间烧毁。维修真空计电路或更换规管时，务必先确认状态。
二、 常见故障与对策
真空度抽不上去——先查漏，再查泵
避坑：不要盲目拆卸真空泵。应遵循“由外到内、由简到繁”的原则。
步骤：
粗漏检查：重点检查所有密封圈是否老化、破损或有异物压痕，法兰面是否清洁平整。密封圈涂抹少量真空硅脂能有效增强密封并保护胶圈。
虚漏排查：检查水冷电极、观察窗等金属与陶瓷封接处有无裂纹。
泵组性能测试：单独启动机械泵，看其极限真空度是否达标。再用氦质谱检漏仪对整套系统进行精检，精准定位微漏点。
加热故障——区分是“电源”还是“负载”问题
避坑：不要一不加热就更换发热体。
步骤：
断电测量：用万用表测量发热体（如石墨件）的冷态电阻，判断是否断裂。同时检查电极与发热体的连接螺栓是否松动、氧化，这是最常见却易被忽略的故障点。
检查绝缘：使用兆欧表测量发热体对炉壳的绝缘电阻，若值过低，说明有击穿或碳污染，需清洁或更换隔热层。
排查电源：确认晶闸管调功模块、触发板等是否正常工作。
泵组维护——预防胜于治疗
机械泵：定期更换真空泵油，若油色变深或乳化，说明有大量可凝性气体或水分进入，需立即更换并排查工艺过程。
扩散泵：避免突然充入大气，防止泵油氧化。定期清洗泵胆，更换高性能泵油。
